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LDI曝光機精密大理石直線電機應用方案

LDI曝光機精密大理石直線電機應用方案

    所屬行業(yè)：半導體
    設備名稱：LDI曝光機
    行業(yè)應用：線路板外層、柔性線路板等
    使用環(huán)境：恒溫車間
    結 構：大理石龍門
    配置說明：KYAC4000系列電機、RSF光柵編碼器、Rexroth/THK導軌、ACS運動控制器
    方案特點：采用智贏無無鐵芯直線電機，最高可以實現(xiàn)運動軸千分之一的速度波動；ACS的運動控制提高整個裝備的運動穩(wěn)定性；專業(yè)的組裝、設計團隊確保方案穩(wěn)步推進；雷尼紹激光干涉儀提供運動精度報告。
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